○基板サイズ100mm×100mm〜

○テーブル移動方式
　　　　駆動系：サーボモータ＋ボールネジ

○テーブル旋回　±90°

○ロール角度　0°固定式

○基板サイズ20mm×20mm〜

○テーブル移動方式
　　　　駆動系：サーボモータ＋ボールネジ

○テーブル旋回　±90°

○ロール角度　0°固定式

○基板サイズ20mm×20mm〜300mm×400mm

○オートアライメントorマニュアルアライメント

○Z軸位置制御及び加圧制御可能

○自動UV照射機構

※真空チャンバー＋静電チャック仕様も可能です。