○ダイレクトドライブ駆動　特許出願中
　振動発生源を無くし、高精度の制御を実現

○スピンドル構造 特許出願中
　ラビングローラーの撓みを低減

○ハイブリッドラビングローラー　特許出願中
　複合素材の採用により、軽量・高精度を達成

○高剛性メインフレーム
　鋼材溶接構造により、大型化に対応
　　　　　　　　　　　　　

○ダイレクトドライブ駆動

○スピンドル構造

○高剛性メインフレーム

ラビング装置前後に配置し、ガラス基板上のダストを非接触式ドライクリーナーにより取り除きます。