본 장비는 글라스 기판의 배향막을 규정된 조건으로 러빙을 진행하는 인라인(In-line)장비입니다. 소형 글라스 기판, 웨이퍼는 물론G5이후의 대형 글라스 기판에도 대응 가능합니다. 글라스 기판의 대형화와 함께 Gap 정밀도, 회전무라,진동, 정전기 등 기본특성과 Tact time, 메인터넌스성 등 동작특성이 손실되지 않도록 설계 제조하여 균일하고 안정된 러빙이 가능합니다.
■ Ｇ６기판（1500mm×1800mm）대응 러빙장비
○Direct Drive특허 신청 중
진동 발생 원을 없애고 고정밀도 제어 실현
○Spindle구조 특허 신청 중
Rubbing roller의 휨 감소
○HybridRubbing roller특허 신청 중
복합 소재를 채용함으로 경량 고정밀도 달성
○고강성 메인프레임
강재 용접 구조에 의한 대형화 대응
■Ｇ４.５기판（730mm×920mm）대응 러빙장비
○Direct Drive 구동
○Spindle구조
○고강성 메인 프레임
■Ｇ２기판（370mm×470mm）대응 러빙장비
Gantry이동 방식을 채용하여 Cycle time의 단축을 실현
Rubbing 부대 장치
■초음파 드라이 세척기
러빙장비 앞뒤에 배치하여 글라스 기판의 먼지를 비접촉방식 드라이 세척 방법으로 없앱니다.
■ Rubbing-cloth Winding／노화장치
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