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常陽工学(株)
真空と大気を組み合わせた新しい貼り合せプロセス
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Q.N2雰囲気での真空貼り合せは可能ですか
Q.N2雰囲気での真空貼り合せは可能ですか
A. 真空引き後にチャンバー内をN2置換することは可能です。
但し、実験室は通常環境ですので、基板のハンドリング時には大気に触れることになります。