摩擦機 / 摩擦机

本裝置,將玻璃基板上的配向膜,根據規定的條件進行摩擦的串聯(In-line)設備。本裝置既適用於小型玻璃基板,積體電路基板,也適用於G5以後的大型玻璃基板。隨著玻璃基板的大型化,間隙精度、旋轉變動率、振動、防靜電等基本特性以及節拍時間、維護性等工作特性,在設計生産時使它們不受到損失,爲進行均一穩定的摩擦提供了可靠性。

本装置,将玻璃基板上的配向膜,根据规定的条件进行摩擦的串联(In-line)设备。本装置既适用于小型玻璃基板,集成电路基板,也适用于G5以后的大型玻璃基板。随着玻璃基板的大型化,间隙精度、旋转变动率、振动、防静电等基本特性以及节拍时间、维护性等工作特性,在设计生产时使它们不受到损失,为进行均一稳定的摩擦提供了可靠性。

■ 適用於G6基板(1500mm×1800mm)的摩擦裝置
  适用于G6基板(1500mm×1800mm)的摩擦装置

○直接驅動 專利申請中
  消除振動發生源,實現高精度的控製
○Spindle結構 專利申請中
  降低Rubbing roller的撓度
○Hybrid摩擦滾筒专利申请中
 因采用了复合原材料,達到了轻量 高精度
○高钢性主構架
 钢材融接的构造,使其適用於大型化

○直接驱动 专利申请中
  消除振动发生源,实现高精度的控制
○Spindle结构 专利申请中
  降低Rubbing roller的挠度
○Hybrid摩擦滚筒专利申请中
 因采用了复合原材料,达到了轻量 高精度
○高钢性主构架
 钢材融接的构造,使其适用于大型化
■ 適用於G4.5基板(730mm×920mm)的摩擦裝置
  适用于G4.5基板(730mm×920mm)的摩擦装置

○直接驅動
○Spindle結構
○高鋼性主構架

○直接驱动
○Spindle结构
○高钢性主构架
■ 適用於G2基板(370mm×470mm)的摩擦裝置
  适用于G2基板(370mm×470mm)的摩擦装置

○採用Gantry移動方式,縮短周期

○由于采用了Gantry移动方式,缩短了周期
  Incidental equipment for Rubbing machine
■ US清洗機 / US清洗机

佈置在摩擦裝置的前後,用非接觸式dry cleaner除去玻璃基板上的灰塵。

布置在摩擦装置的前后,用非接触式dry cleaner除去玻璃基板上的灰尘。
  ■ 摩擦卷布 老化裝置 / 摩擦卷布 老化装置