러빙장비
본 장비는 글라스 기판의 배향막을 규정된 조건으로 러빙을 진행하는 인라인(In-line)장비입니다. 소형 글라스 기판, 웨이퍼는
물론G5이후의 대형 글라스 기판에도 대응 가능합니다. 글라스 기판의 대형화와 함께 Gap 정밀도, 회전무라,진동, 정전기 등 기본특성과
Tact time, 메인터넌스성 등 동작특성이 손실되지 않도록 설계 제조하여 균일하고 안정된 러빙이 가능합니다.
Rubbing 부대 장치 | |
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■ 초음파 드라이 세척기 러빙장비 앞뒤에 배치하여 글라스 기판의 먼지를 비접촉방식 드라이 세척 방법으로 없앱니다. | |
■ Rubbing-cloth Winding/노화장치 |