Assembly M/C

본 장비는 투입된 상 하기판을 고정밀도 얼라이어먼트를 진행하고 어셈블리후 배출하는 인라인(In-line) 장비입니다. 기판을 각 로봇에 의하여 압착부로 이동시켜 자동 얼라이어먼트를 진행하고 압착시킵니다. 압착후 다시 얼라이어먼트를 진행하고 UV조사(照射)로 UV재를 경화시켜 임시 고정하고 아래로 배출합니다. 웨이퍼 등 다종 기판에 대응하여 인라인(In-line)기부터 카셋트 로더 언로더가 있는 독립 타입 까지 여러가지 타입이 있습니다.

■ 액정 패널에 대응Assembly M/C (압착부)

어셈블리 정밀도 1μm를 실현함과 동시에 더블 핸드 로봇을 사용하여 사이클 타임 단축을 실현
■ L-COS에 대응Assembly M/C(로더 언로더)
■ 액정 패널에 대응Assembly M/C