A.　CCDカメラ＋手動XYθステージにより±5μm以内の精度でアライメントが可能です。
　但し、カメラのセット位置はステージに開けてある窓の制約があります。
　窓の位置に関しては事前に営業までお問合せ下さい。
　どうしてもカメラでマーク（基準ポイント）を見ることが出来ない場合には外形基準による間接アライメントになります。
　※３Ｄ加圧方式では間接アライメントのみ可能となります。