開発用小型装置

開発部門や研究所、学校関係においてシンプルな機構と使い勝手の良さでご好評を頂いている小型装置群です。
ご予算に合わせたカスタム仕様も承っております。

小型ラビング装置 ■ 小型ラビング装置

○基板サイズ100mm×100mm~200mm×200mm

○テーブル移動方式
    駆動系:サーボモータ+ボールネジ

○テーブル旋回 ±90°

○ロール角度 0°固定式
卓上ラビング装置 ■ 卓上ラビング装置

○基板サイズ20mm×20mm~100mm×100mm

○テーブル移動方式
    駆動系:サーボモータ+ボールネジ

○テーブル旋回 ±90°

○ロール角度 0°固定式
■ 小型貼り合せ装置

○基板サイズ20mm×20mm~300mm×400mm

○オートアライメントorマニュアルアライメント

○Z軸位置制御及び加圧制御可能

○自動UV照射機構

※真空チャンバー+静電チャック仕様も可能です。
直線切りガラススクライバー:JKL-SKシリーズ (ガラスカット治具)寸法及び構成図の詳細 ■ 直線切りガラススクライバー:JKL-SKシリーズ
 (ガラスカット治具)

○『誰でも、簡単に、綺麗に』ガラス基板を任意の寸法にカット(直線切り)できる卓上型手動式簡易ガラススクライバーです。

○カット対象のガラス基板の寸法により0型~4型まで5タイプ用意しております。

○カッターは実績のある超硬ロールカッターを使用し、安定したスクライブ線をいれることができます。

○定板には合板(デコラ板)を採用し、なめらかにガラス基板のセットと取出しができます。
真空搬送ボックス ■ 真空搬送ボックス

グローブボックス間の基板などの搬送に最適です。

窒素雰囲気または真空状態を長時間保持可能です。

小型軽量でアンティチャンバーを通しやすい形状になっております。

搬送ボックスの一部をハニカム構造にすることで大幅な軽量化に成功しました。

○到達真空度:10Pa

○概算寸法:有効内寸:130(D)×160(W)×125(H)mm
        外寸:194D×224W×173Hmm(突起部除く)

○概算重量:9.2kg(真空計等各機器含む)

上記以外の仕様もカスタムメイドいたします。
お問合せください。