ラビング装置 JRシリーズ

本装置は、ガラス基板上の配向膜を所定の条件にて、ラビングを行うインライン装置です。小型ガラス基板、ウェハーはもとより、G5以上の大型ガラス基板にも対応可能です。ガラス基板の大型化に伴い、ギャップ精度、回転ムラ、振動、静電気等の基本特性、タクトタイム、メンテナンス性等の運動特性が損なわれないよう、設計製造され、均一で安定したラビングを可能としました。
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■ G7基板(1950×2250mm)~G5(1100×1300mm)対応ラビング装置

○ステージリニアドライブ駆動 特許取得
 振動発生源を無くし、高精度の制御を実現

○スピンドル構造 特許取得
 ラビングローラーの撓みを低減

○ハイブリッドラビングローラー 特許取得
 複合素材の採用により、軽量・高精度を達成

○高剛性メインフレーム
 鋼材溶接構造により、大型化に対応
  ■ フィルムラビング装置
○500mm~1500mm幅対応 Roll to Rollフィルムラビング装置

○G2基板対応 枚葉式フィルムラビング装置
  ■ 小型ラビング装置
開発用小型装置へ
G4.5基板(730mm×920mm)対応 ■ G4.5基板(730mm×920mm)対応
  ラビング装置

○ダイレクトドライブ駆動

○スピンドル構造

○高剛性メインフレーム
G2基板(370mm×470mm)対応 ラビング装置 ■ G2基板(370mm×470mm)対応 ラビング装置

ガントリー移動方式採用により、サイクルタイムの短縮を実現
  ラビング付帯装置
USドライクリーナー ■ USドライクリーナー
ラビング装置前後に配置し、ガラス基板上のダストを非接触式ドライクリーナーにより取り除きます。
  ■ ラビング布巻き/エージング装置

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