本装置は、ガラス基板上の配向膜を所定の条件にて、ラビングを行うインライン装置です。小型ガラス基板、ウェハーはもとより、G5以上の大型ガラス基板にも対応可能です。ガラス基板の大型化に伴い、ギャップ精度、回転ムラ、振動、静電気等の基本特性、タクトタイム、メンテナンス性等の運動特性が損なわれないよう、設計製造され、均一で安定したラビングを可能としました。
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	■ G7基板（1950×2250mm）～G5（1100×1300mm）対応ラビング装置 ○ステージリニアドライブ駆動　特許取得 　振動発生源を無くし、高精度の制御を実現 ○スピンドル構造 特許取得 　ラビングローラーの撓みを低減 ○ハイブリッドラビングローラー　特許取得 　複合素材の採用により、軽量・高精度を達成 ○高剛性メインフレーム 　鋼材溶接構造により、大型化に対応
	■ フィルムラビング装置 ○500mm～1500mm幅対応　Roll to Rollフィルムラビング装置 ○G2基板対応　枚葉式フィルムラビング装置
	■ 小型ラビング装置 開発用小型装置へ
	■ Ｇ４.５基板（730mm×920mm）対応 　 ラビング装置 ○ダイレクトドライブ駆動 ○スピンドル構造 ○高剛性メインフレーム
	■ Ｇ２基板（370mm×470mm）対応 ラビング装置 ガントリー移動方式採用により、サイクルタイムの短縮を実現

	ラビング付帯装置
	■ ＵＳドライクリーナー ラビング装置前後に配置し、ガラス基板上のダストを非接触式ドライクリーナーにより取り除きます。
	■ ラビング布巻き／エージング装置 詳細はお問い合わせ下さい。