よくある質問

FAQ

Q.実験室はクリーンルームですか

A.クリーンルームではありませんが、装置はクリーンブース内に設置してあります。
クリーン度はクラス10000程度です。

Q.実験室は暗室になりますか

A. 暗室対応可能です。イエローランプ下での実験が出来ます。

Q.ガラス以外の基板も対応できますか

A. 対応可能です。PET、PEN、アクリル、チタンプレート、銅箔等の実績があります。
 但し、表面に膜付けがしてある場合や、汚染(手脂、油脂等)している場合には  静電チャックで吸着できないことがあります。
 事前に基板の端材で結構ですので送付頂き、吸着可能か確認することをお奨めします。

Q.アライメントのレベルはどうですか

A. CCDカメラ+手動XYθステージにより±5μm以内の精度でアライメントが可能です。
 但し、カメラのセット位置はステージに開けてある窓の制約があります。
 窓の位置に関しては事前に営業までお問合せ下さい。
 どうしてもカメラでマーク(基準ポイント)を見ることが出来ない場合には外形基準による間接アライメントになります。
 ※3D加圧方式では間接アライメントのみ可能となります。

Q.全面UV照射は可能ですか

A. 真空チャンバー内ではスポット照射になります。
 真空貼り合せ後にチャンバーから取り出して別ユニットでの全面照射は可能です。
 中心波長はいずれも365nmです。
 ※3D加圧方式ではUVスポット照射も不可となります。

Q.N2雰囲気での真空貼り合せは可能ですか

A. 真空引き後にチャンバー内をN2置換することは可能です。
 但し、実験室は通常環境ですので、基板のハンドリング時には大気に触れることになります。

Q.ディスペンサーの対応はどうですか

A. 常備していませんが、あらかじめ予定を入れて頂ければ協力メーカーからデモ機の貸し出しをしてもらうことが可能です。

Q.基板だけを送付して貼り合せサンプルの作成のみを頼めますか

A. 対応可能ですが、事前の打合せと静電チャックの吸着テストの実施が必要です。

Q.デモの費用はどのくらいを想定しておけば良いですか

A. 内容により異なりますので、DINプロジェクト営業までご相談ください。
 実験にはオペレーター1名が専任で付きます。

Q.デモの予約はどうすれば良いですか

A. 当ホームページのお問合せフォームもしくはDINプロジェクト営業までお問合せ下さい。
 TEL:045-912-4411