貼り合せの瞬間動画

■卓上真空貼合装置 真空貼り合せの瞬間動画(10倍速再生)
真空貼合の瞬間を撮影した動画です。
撮影で使用している卓上真空貼合装置は、研究開発(要素技術)に最適!です。
・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。
・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。
・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。
・上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更も可能。